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中国电科:离子注入机实现全谱系产品国产化,覆盖至 28nm

时间:2021-03-18   访问量:1243

3月17日消息,据新华社报道,中国电子科技集团有限公司 3 月 17 日对外公布,该集团旗下装备子集团攻克系列 “卡脖子”技术,已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段覆盖至 28nm,为我国芯片制造产业链补上重要一环,为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

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